随着我国汽车电子、新型数字消费电子和医疗电子等产业的快速发展，对MEMS传感器的各种新需求和基于该技术的创新不断涌现，为此VTI科技(VTI Technologies)高管则公开表示：随着各种新的应用不断出现，以及MEMS器件厂商的技术创新，MEMS传感器产业将迎来一轮新的机会。

三维微机电系统传感器(3D MEMS)由带有金属电容板的底座、带有运动感应结构的中间层和顶盖三个不同的硅层用玻璃粘合在一起组成，每层都有金属薄膜形成电极而成为电容式传感器。3D MEMS传感器可以在三个正交的方向上检测到加速度，而由此封装完成的小型化传感器可以方便地进行贴装和安装。同时VTI的专有技术确保了传感器的精确性、小型化、低功耗和稳定可靠。运用这种传感器，VTI生产出了加速度计、倾角仪、陀螺仪和压力传感器等系列产品。

从3D MEMS传感器的技术应用方向来看，加速度计主要应用在需要灵敏检测运动状态，从而实现高安全性和控制的汽车及工业应用;倾角仪则广泛应用于需要精确测量运动场景，如运动的机械、车辆、飞机、建筑设备和掌上系统等;陀螺仪则可以单独或者与加速度计共同使用，广泛应用于从消费电子到专用设备的各种市场;压力元件则用于医疗设备等应用之中。

MEMS器件最早的批量实际应用源于汽车电子产业，但随着近年来消费电子领域的创新不断涌现，消费电子已经成为MEMS最大的应用市场，市场规模超过了15亿美元，并以每年近20%的速度增长。

作为MEMS传感器的第二波应用高潮，MEMS传感器在消费电子中的应用包括运动/坠落检测、导航数据补偿、游戏/人机界面、电源管理、GPS增强/盲区消除、速度/距离计数、其他体育和保健应用等等。其中陀螺仪是增长最快的部分，已经成为加速度计后的第二大应用产品。

医疗保健被称为MEMS的第三波应用，同时也被MEMS行业称为高价值市场。随着人口老龄化和医疗保健费用的提升，各种远距离监护和高精度治疗设备将越来越多地被引入。

技术进步也是MEMS行业发展的一个重要推动力，特别是MEMS与数字芯片在同一封装内的片上集成，给MEMS市场振兴带来了巨大的支持。在2007年推出了MEMS搭载芯片技术(Chip-on-MEMS，CoM)后，VTI也获得了巨大的发展，各种新的应用解决方案脱颖而出。不久前，VTI推出并在近期量产的CMR3000 3轴陀螺仪就是这种MEMS片上系统，不仅其芯片级的封装使其体积仅为3.1x4.2x0.8 mm3，而且提供了SPI或者I2C数字输出，同时实现了仅为5mA的业界最低功耗，而测量精度高达+/- 2000 dps。该器件专为游戏机、遥控器等人机界面和手机等优化，目前已有客户将该器件与8051结合设计出高精度投影光标遥控器。

VTI的CMR3000 3轴陀螺仪实现了数字输出、高精度、小体积和低功耗

用于时钟发生的MEMS振荡器也是当前MEMS应用的一个热点，随着便携电子设备对时钟发生解决方案在体积和精度上的要求越来越高，采用MEMS来替代石英晶体振荡器的呼声也越来越大。市场调研公司Yole的分析表明：MEMS振荡器的全球市场将从2009年的8百万美元快速增长到2015年的6.45亿美元。

MEMS在汽车电子中的应用极为广泛，其应用方向和市场需求包括车辆的防抱死系统(ABS)、电子车身稳定程序(ESP)、电控悬挂(ECS)、电动手刹(EPB)、斜坡起动辅助(HAS)、胎压监控(EPMS)、引擎防抖、车辆倾角计量和车内心跳检测等等。其中电子车身稳定程序ESP是许多MEMS厂商高度关注的新应用，由于其主动防滑功能要求更多的传感器和先进的处理系统，因此将使汽车电子这一MEMS传统应用市场再放光芒。

从飞机、大型设备、汽车到各种便携设备及人体内的心脏起搏器，MEMS运动传感器充满了应用机会，而MEMS传感器与数字芯片的集成也再次带动了市场的发展。由于运动无处不在，通过采用MEMS传感器而带来的系统创新也层出不穷，可以为市场带来全新的功能和用户体验。这已经被任天堂Wii等产品的成功得以证实，新的MEMS传感器将考验系统设计师的想象力。